HGRSの国産化に成功、韓国アトエンジニアリング

半導体製造装置の生産企業である韓国アトエンジニアリング（代表・呉淳鳳）が、半導体素子の製造時に品質低下要因となるほこりと水分を除去するHGRS（Hot Gas Recirculation&Sweep）を開発した。 この装置は半導体製造装置に熱を加えながら内部の湿気・ほこり・空気などを除去し、高い真空状態をつくるもので、これまで14時間もかかっていた作業を2時間で完了させるのが特徴である。 韓国アトエンジニアリングは米国ギャリソ社との技術提携でHGRSの制御ソフトウエアを開発した。